Innovative Handlingsysteme für die LCD-Fertigung 

Die Manz Automation AG liefert bereits seit mehr als 15 Jahren innovative Automatisierungs- 
systeme für die Handhabung von Glassubstraten.

Die Fertigung von LCD-Flachbildschirmen erfolgt unter extremen Reinraumbedingungen. 
Die hohen Qualitätsansprüche erfordern das automatisierte Handling der Glassubstrate. 
Die besondere Herausforderung besteht in der Handhabung der bis zu 6 m² großen und nur 
0,7mm dicken Glasscheiben. Manz hat hierfür in enger Zusammenarbeit mit Kunden und 
Herstellern von Prozessanlagen innovative Handlingsysteme entwickelt. Diese Systeme 
erfüllen in vollem Umfang die hohen Anforderungen hinsichtlich absoluter Reinheit, höchster 
Präzision und minimalem Glasbruch.
 

		Der Schwerpunkt der Anwendungen liegt in der Herstellung von Colorfiltern, der vorderen Scheibe  eines TFT-LCD-Flachbildschirms. Die meisten der in Japan, Korea und Taiwan installierten Systeme werden für das automatische Be- und Entladen von Inline-Sputteranlagen der Applied Materials eingesetzt.  In diesem Marktsegment ist die Manz Automation AG  Marktführer in Taiwan. Weitere Automatisierungslösungen wurden für das  Verpacken von LCD-Substraten sowie für die Automation von Laserschneidanlagen und die Inspektionssysteme von Basler realisiert. Auf Basis der standardisierten Robotersysteme werden auch kundenspezifische Automatisierungssysteme entwickelt. Für die Handhabung der inzwischen extrem großflächigen Glassubstrate (2200mm x 2600mm) wurden spezielle Handhabungs- und Transportsysteme entwickelt.
In enger Zusammenarbeit mit KUKA, einem der weltweit führenden Roboterhersteller,  wurde ein 6-Achs-Industrieroboter mit 3100mm Armlänge für den Einsatz im Reinraum  der Klasse 100 modifiziert.

 

Reinraumtauglichkeit Die Reinraumtauglichkeit wurde im Labor des Fraunhofer IPA  Instituts nachgewiesen und das Robotersystem entsprechend  zertifiziert.